엘오티베큠

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친환경 신재생 에너지로 Solar Cell의 가능성이 현실이 되었습니다.

에너지 효율을 극대화 하기 위해 건식 진공 펌프는 핵심 설비이며 보다 높은 효율을 구현할 수 있도록 합니다.

HD Series

  • Pumping Speed
    • 120 ~ 9,000 ㎥/hr
    • 2,000 ~ 150,000 LPM
  • Ultimate Pressure
    • ≤ 3.0 x 10-2 ~ 5.0 x 10-1 Torr
    • ≤ 3.9 x 10+0 ~ 6.6 x 10-1 Pa

RD Series

  • Pumping Speed
    • 190 ~ 3,600 ㎥/hr
    • 3,100 ~ 60,000 LPM
  • Ultimate Pressure
    • ≤ 8.0 x 10-3 ~ 5.0 x 10-3
    • ≤ 1.0 x 10+0 ~ 6.6 x 10-1
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