엘오티베큠

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평판 디스플레이(FPD) 기술은 끊임 없이 발전하고 있습니다.

고해상도 구현을 위한 작고 정확한 RGB OLED 증착은 매우 중요합니다.
증착의 핵심 요소인 건식 진공 펌프를 이용하여 이를 구현할 수 있습니다.

HD Series

  • Pumping Speed
    • 120 ~ 9,000 ㎥/hr
    • 2,000 ~ 150,000 LPM
  • Ultimate Pressure
    • ≤ 3.0 x 10-2 ~ 5.0 x 10-1 Torr
    • ≤ 3.9 x 10+0 ~ 6.6 x 10-1 Pa

RD Series

  • Pumping Speed
    • 190 ~ 3,600 ㎥/hr
    • 3,100 ~ 60,000 LPM
  • Ultimate Pressure
    • ≤ 8.0 x 10-3 ~ 5.0 x 10-3
    • ≤ 1.0 x 10+0 ~ 6.6 x 10-1